Keep your fab running
Ihr Referenzpunkt für Reparatur- und Aufarbeitungsdienste für Robotik, Pre-Aligner und Load Ports
foup and fosb cleaner
Das weltweit einzige Gerät zur getrennten Reinigung des FOUP- und FOSB-Körpers und -Deckels
Überholung, Austausch und Aufarbeitung für Roboter, Pre-Aligner und Loadports
Wir bieten Reparaturdienste für Pre-Aligner, Roboter und Loadports an. Zuverlässige und langlebige Lösungen für Ihre Maschinen in der Halbleiterproduktion.
Eumetrys Robotics reagiert schnell und effizient auf die Bedürfnisse seiner Kunden, dank der bewährten Expertise seines Ingenieurteams. Eumetrys SAS, unser Unternehmen für die Reparatur von Maschinen in der Halbleiterproduktion, bietet verschiedene Dienstleistungen an, je nach den Bedürfnissen unserer Kunden. Sie können entweder einen Standard-Austausch oder eine vollständige Reparatur der Roboter, Pre-Aligner und Loadports auf Ihrer Produktionslinie wählen.
Wir arbeiten sowohl an veralteten als auch an aktuellen Maschinen in Ihren Halbleiterproduktionsanlagen. Wir garantieren unseren Kunden eine Lösung in kürzester Zeit, damit Ihre Maschinen so schnell wie möglich wieder in den Produktionszyklus Ihrer Halbleiterproduktion integriert werden können.
Eine Expertise für mehrere Marken
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Weltweit Nr. 1 FOUP- und FOSB-Reiniger für < 10nm IC-Fabs und Wafer/Substrat-Hersteller
Bei Eumetrys Robotics bieten wir den fortschrittlichsten FOUP- und FOSB-Reiniger auf dem Markt an. Unsere Spitzentechnologie ist die einzige weltweit, die sowohl den Körper als auch den Deckel separat reinigt und so ein überlegenes Maß an Sauberkeit und Leistung gewährleistet. Dieser einzigartige Prozess maximiert die Effizienz, während er die höchsten Standards in Bezug auf Präzision und Kontaminationskontrolle aufrechterhält und damit die ideale Lösung für die Halbleiterindustrie darstellt.
Erleben Sie Innovation mit Eumetrys Robotics, wo wir die Grenzen der Sauberkeit und Zuverlässigkeit in jedem Detail verschieben.
WICHTIGE MERKMALE
Hohe Produktivität (30 FOUPs/Stunde) •
Feuchtigkeitskontrolle (< 5 %) •
Fortschrittliche Reinigungsmethode •
Fortschrittliche Wafer-Erkennung im FOUP •
UNÜBERTROFFENE ZUVERLÄSSIGKEIT
Mittlere Reparaturzeit < 4h •
Niedrige Alarmfrequenz (0,31/Monat) •
Geringer Wartungsaufwand •
Mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen > 1500h •
benefits and features
• N₂-Spülung und Dichtigkeitsprüfung
• Kompaktes und optimiertes Design
• Überlegener Vakuumtrockner
• Volle AMHS-Kompatibilität