Reparturen von Pre-Alignern

Die perfekte Lösung für die Reparatur und Wartung Ihrer Vorrichtgeräte

WARTUNG FÜR PRE-ALIGNER

Eumetrys Robotics, Spezialist für die Wartung von Industrieelektronik für Vorrichtmaschinen und Halbleiterproduktionsbaugruppen, bietet Wartungsdienste für Ihre Vorrichtmaschinen an. Unser Angebot umfasst den Austausch aller Verschleißteile an der Vorrichtmaschine, wie z. B. Riemen und Wellen. Dank unserer langjährigen Erfahrung sind unsere Mitarbeiter in der Lage, sowohl vorbeugende als auch korrigierende Wartungsarbeiten an Vorrichtmaschinen durchzuführen. Wir garantieren, dass Ihre Vorrichtmaschinen nach der Überholung wieder voll funktionsfähig sind. Bei der Inspektion der Vorrichtmaschinen führen wir zahlreiche Qualitätskontrollen durch, um sicherzustellen, dass die Vorrichtmaschinen voll funktionsfähig sind. Das Gleiche gilt für die Programme, die zur Steuerung und Kontrolle der Vorrichtmaschinen verwendet werden. Da es auch bei den Steuerungen zu Fehlfunktionen kommen kann, bieten wir die Wartung von Vorrichtgeräten an.

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Eumetrys robotics offer the overhaul exchange or repairs of your loadports

SANIERUNG DER VORRICHTMASCHINE

Da sie bei der Handhabung von Wafern eine entscheidende Rolle spielen, bieten wir auch eine vollständige Überholung von Pre-Alignern an. Ein Pre-Aligner spielt eine wichtige Rolle in der Waferproduktion: Er dient der genauen Positionierung der Wafer mithilfe eines optischen Sensors und eines Algorithmus zur Erkennung der Kante des Wafers. Wir konzentrieren uns auf diesen Aspekt, wenn wir die Inspektion des Pre-Aligners und des Pre-Aligner-Controllers sowie den Austausch von Verschleißteilen durchführen. Der Wafer kann anschließend zu einer Mess- oder Belichtungsplattform transportiert werden. Diese können verschiedene Wafergrößen aufnehmen: 3″, 4″, 5″, 6″, 8″ oder 1′ (d. h. von 3″ bis 12″). Ein Pre-Aligner kann Wafer sowohl für undurchsichtige als auch für transparente Materialien ausrichten. Pre-Aligner werden in der gesamten Palette der Halbleiterproduktionsmaschinen eingesetzt: Messsysteme, Beschichtungssysteme, Ätzsysteme, Wabenprozesssysteme, Wärmebehandlungssysteme usw. Die Überholung von Pre-Aligner-Controllern muss daher schnell erfolgen, um Ihre Produktivität nicht zu beeinträchtigen. Wir bei Eumetrys Robotics sind uns dieser Tatsache bewusst und achten stets darauf, die Steuerungen für Vorrichtmaschinen ordnungsgemäß zu reparieren.

Die vorbeugende Wartung von Pre-Alignern muss regelmäßig und gut durchgeführt werden, da es sich um kritische Komponenten für die Herstellung und Kontrolle von Halbleitern handelt. Damit wird sichergestellt, dass die Wafer vor dem Eintritt in die Prozesskammer genau in der erforderlichen Position sind. Der Pre-Aligner muss daher voll funktionsfähig sein, um den restlichen Produktionsprozess nicht zu verzögern. Dies gilt sowohl für seine mechanischen als auch für seine elektronischen Eigenschaften.

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